在过去的几年中，数码显微镜已被证明可用于微电子行业中的检查，质量控制和保证（QC/QA）和故障分析（FA），特别是对于印刷电路板（PCB）。最近，最先进的改进使数码显微镜在检查方面更加强大和实用，从而带来了更高效的工作流程。在此，说明了某些数码显微镜功能的优点，例如，用于操作和分析的直观软件，更改放大倍数的快速简便的方法以及用于可靠调用参数的编码。
为什么要用数码显微镜检查？
数码显微镜是没有目镜的光学显微镜。图像可以直接在电子显示器上观察到。LeicaDVM6数码显微镜为用户提供了一种更轻松，更快速的方式来记录高质量，可靠的图像数据并进行快速分析，从而在检查微电子零件时提高了效率。
数码显微镜的哪些功能可导致可靠的分析和更高的工作流程效率？
Leica徕卡显微镜DVM6的多种功能使其易于使用，并使检查和分析工作流程更加高效：
用于显微镜操作和数据分析的直观软件；
在整个范围（12：1至2,350：1）上更改放大倍率的高效，简单方法；
对重要参数进行编码（自动跟踪和存储），例如载物台，光学，照明和摄像机设置，以便随时快速调用；
快速简便的显微镜头倾斜和样品旋转；
集成的LED（发光二极管）环形灯和同轴照明可实现多种对比度；
具有快速实时图像和10MP分辨率的高性能数码相机；和软件启用/支持的捕获模式，例如XY和XYZ拼接以及高动态范围（HDR）等。
本报告讨论了上述前三点如何促进更快，更可靠的工作流程。有关后四个方面的更多详细信息，请参阅这篇有关PCB快速可靠检查的文章。
快速简便的设置和入门
在操作徕卡DVM6数码显微镜只需要一个电源线和连接到运行徕卡应用套件X（电脑USB电缆LASX）软件。物镜到位后，LeicaDVM6准备执行检查，QC/QA和FA。最大工作距离为60mm，样品台行程范围为70×50mm，最大样品重量为2kg。
使用直观的软件进行测量，分析和操作
为了使用数码显微镜实现更快，更可靠的检查，QC和FA工作流程，具有多种功能的直观软件包可用于显微镜控制，简单而灵活的图像采集以及样品分析。例如，与LeicaDVM6一起使用的软件LeicaApplicationSuiteX（LASX）可为多个不同用户使用同一显微镜的情况提供多个用户配置文件的存储。LAS的Z堆栈功能X使用户能够在一个样本特征或整个样本本身的定义Z范围内，在各种焦平面上记录图像。扩展景深（EDOF）模式可提供多焦点图像，而无需设置开始或结束级别。Z-stack和EDOF均可快速创建和分析样品的3D地形表面。
此外，使用LASX软件，用户可以为大型XY扫描选择不同的模式，例如“标记并查找”，“平铺扫描”和“螺旋扫描”。还可以使用针对XY（2D图像），Z（3D图像）和XYZ（扩展区域上的3D图像）的交互式模式“实时图像生成器”。
大范围内的快速倍率变化
徕卡显微镜DVM6的物镜可在仪器操作过程中快速轻松地更换，基本上不会增加工作流程。此在线视频显示了切换目标有多么简单。
有3种平场复消色差物镜（在红色，绿色和蓝色波长上进行色校正，在整个视场上进行平整度校正）（低，中和高倍率）。还有16：1集成变焦光学元件，用户可以使用它实现12：1至2,350：1的总放大倍率（根据标准ISO/DIN18221，建议使用27英寸（69厘米）对角线显示器显示）。变焦光学器件可与3个物镜一起工作，以实现低，中和高放大倍率，从而可以在整个范围内连续更改放大倍率。
必须记住，数码显微镜的最终放大倍率将取决于用于图像显示的监视器尺寸。如上所述，建议LeicaDVM6与27英寸（69厘米）对角线显示器一起使用。下图显示了使用LeicaDVM6在低，中和高倍率下使用低，中和高物镜获取的电子传感器的图像。
LeicaDVM6数码显微镜的编码参数
具有与计算机软件直接通信以允许自动跟踪和保存特定参数的硬件的仪器称为“编码”设备。编码对于快速调用数据采集期间存储的参数和设置非常有用。编码对于可重现性和可靠性非常重要，并且有助于提高工作流程的效率。
对于LeicaDVM6，通过LASX软件对物镜和变焦光学器件，相机像素分辨率，样品台位置和旋转角度（无论是手动移动还是机动移动），显微镜头倾斜角度和照明系统设置进行编码和存储。下面显示了在LeicaDVM6操作期间对其中一些参数进行编码的示例。
结论
LeicaDVM6数码显微镜可实现微电子零件（例如印刷电路板（PCB））的更高效，可靠的检查，质量控制和保证（QA/QC）和故障分析（FA）。这里讨论了它的三个好处：具有许多功能的直观软件，可进行显微镜操作，图像捕获和数据分析；在从12：1到2,350：1的整个范围内快速改变放大倍率的便捷方法；所有重要参数和设置（光学，相机，载物台，头部和照明）的编码和编码，以便于快速调用。这些功能使LeicaDVM6用户可以进行更快，更可靠的数据采集和分析，从而提高检查，质量控制和FA工作流程的效率。
