分析探针台T2000

    显微镜成像系统技术参数：

    ●无限远光学系统，管镜焦距200mm

    ●铰链式三目镜筒，30°倾斜，瞳距55-75mm

    ●高眼点，大视场目镜WF10X/25

    ●长工作距离，平场复消色差物镜2X/0.055,5X/0.14,10X0.28,20X/0.29,50X/0.42

    ●五孔物镜转换器，物镜螺纹M26X0.706

    ●同轴粗微调焦机构，微动格值0.002mm

    ●100W卤素灯光纤照明

    ●1800万象素高清数码成像采集系统

    ●imageAnalysisSyste11.0专业的图像预览分析软件

    探针台部分技术参数：

    •尺寸:500mmW*500mmD*700mmH

    •6"卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔最小可以选择250微米

    •卡盘平整度:5μm,标准卡盘可360度无间隙旋转

    •卡盘旋转微调+-15°,调节精度0.1°

    •卡盘微调升降，行程4mm,精度1微米

    •卡盘X/Y轴无间隙移动，采用大手柄旋转控制，行程：6英寸X6英寸，移动精度：1um，并带锁死装置

    •可调节显微镜在X-Y平面2"x2"范围内移动,精度1微米（系统不包含显微镜）

    •可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜，带自动锁定功能

    •平台快速升降行程6mm并带自动锁定功能

    •平台上下微调行程25mm，升降精度1um

    •平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位